チャック兼用マガジン式
基板供給装置　ECS23MC

マガジン式基板供給装置
　ELS23MC

吸着兼用マガジン式
基板供給装置　EWS23MC

直角式基板供給装置
　ELL23MC

M/L兼用マガジン式
基板供給装置　ELB23XC

吸着専用基板供給装置
　EVL45H

チャック専用基板供給装置
　EVC650MC