吸着専用基板供給装置 EVL45H
特徴
- 高速性
基板供給タクト 6sec/枚 - 安全・防塵性
防塵安全カバー（インターロック付き）標準装置
（上部・基板投入部） - 省スペース
| 基板搬送方向 | 右→左（左→右） |
|---|---|
| 基板搬送基準 | 手前側（奥側） |
| 基板搬送高さ | 900+50-25（mm） |
| 対応基板寸法 | W80～250mm＊L100～330mm |
| 基板厚み | 0.5～2.0mm |
| 搭載基板枚数 | 最大積み上げ高さ：240mm （基板厚1.6mm時150枚） |
| 電源 | AC100V |
| エアー | 0.5MPa |
※XLサイズも対応可能
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
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