吸着専用基板収納装置 EVU45H
特徴
吸着式にて基板収納を行う
マガジン不要なため、マガジンセットの手間無し
- 高速性
タクト 約10sec
※Mサイズ、生基板専用 - 自動段替え対応可能
| 基板搬送方向 | 右→左（左→右） |
|---|---|
| 基板搬送基準 | 手前側（奥側） |
| 基板搬送高さ | 900+50-25（mm） |
| 対応基板寸法 | W50～250mm＊L50～330mm |
| 基板厚み | 1.0～4.0mm |
| 電源 | AC100V |
| エアー | 0.5MPa |
※XLサイズも対応可能
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
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