直角式基板収納装置 EUL23MC
特徴
- 省スペース化
マガジン収納開始位置を上段 or 下段 選択可能 - 高速性
マガジン交換時間 約18sec
※Mサイズ・標準モード時 - 自動段替え対応可能
| 基板搬送方向 | 右→左（左→右） |
|---|---|
| 基板搬送基準 | 手前側（奥側） |
| 基板搬送高さ | 900+50-25（mm） |
| 対応基板寸法 | マガジン使用 W50～250mm＊L50～330mm |
| 基板厚み | 0.5～2.0mm |
| 供給ピッチ | 1～4段 |
| 搭載マガジン | 上段2個・下段3個 or 上段2個・下段2個 |
| 電源 | AC100V |
| エアー | 0.5MPa |
※XLサイズも対応可能
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
