直角式基板収納装置 EUL23MC

特徴
  • 省スペース化
    マガジン収納開始位置を上段 or 下段 選択可能
  • 高速性
    マガジン交換時間 約18sec
    ※Mサイズ・標準モード時
  • 自動段替え対応可能
基板搬送方向 右→左(左→右)
基板搬送基準 手前側(奥側)
基板搬送高さ 900+50-25(mm)
対応基板寸法 マガジン使用 W50~250mm*L50~330mm
基板厚み 0.5~2.0mm
供給ピッチ 1~4段
搭載マガジン 上段2個・下段3個 or 上段2個・下段2個
電源 AC100V
エアー 0.5MPa

※XLサイズも対応可能
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。