乾燥付き収納装置 EUS22MCW
特徴
- 熱風発生機を搭載。装置内部温度を高め、マガジンに収納された基板の乾燥時間を短縮致します。
- マガジンラックごとの待機時間を設定可能。
- 基板収納と基板乾燥を両立し、生産性向上。
- 装置内温度は、60度（雰囲気温度）
| 基板搬送方向 | 右→左（左→右） |
|---|---|
| 基板搬送基準 | 手前側（奥側） |
| 基板搬送高さ | 900+50-25（mm） |
| 対応基板寸法 | W50～250mm＊L50～330mm |
| 基板厚み | 0.5mm～2.0mm |
| 供給ピッチ | 1～9段 |
| 搭載マガジン | 上段2個・下段2個 or 上段3個・下段3個 |
| 電源 | AC200V |
| エアー | 0.5MPa |
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
