乾燥付き中間ストッカー ESS10MCW
特徴
- 熱風発生機を搭載。装置内部温度を高め、ストックされた基板の乾燥時間を短縮します。
- 基板の待機時間を設定可能。
- ラック内蔵式のため、機種切替が容易。
- 装置内温度は、60度（雰囲気温度）
| 基板搬送方向 | 右→左（左→右） |
|---|---|
| 基板搬送基準 | 手前側（奥側） |
| 基板搬送高さ | 900+50-25（mm） |
| 対応基板寸法 | W70～250mm＊L70～330mm |
| 基板厚み | 0.5～2.0mm |
| 供給ピッチ | 1～9段 |
| 搭載マガジン | マガジンラック内蔵（60段） ※ラック側板を装置に組込 |
| 電源 | AC200V |
| エアー | 0.5MPa |
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
