非接触式基板クリーナー ECA60M
特徴
- 非接触式にて基板をクリーニング
- 静電気の発生を最小限へ
- 実装済み基板へのクリーニングも可能
- オプションにて端面クリーニング可能
| 基板搬送方向 | 右→左（左→右） |
|---|---|
| 基板搬送基準 | 手前側（奥側） |
| 基板搬送高さ | 900±25（mm） |
| 対応基板寸法 | W70～250mm＊L70～330mm |
| 基板厚み | 0.5～2.0mm |
| 電源 | AC100V±10V（50/60Hz） |
| エアー | 0.5Mpa 2430L/min |
※仕様及び外観の一部を改良の為、予告なく変更することがありますのでご了承ください。
